国家/地区 日本(7) 美国(6) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(5) 德国(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(8)
IPC大类 C01(7) D01(6) H01(5)
B32(4) B01(3) B82(3)
IPC小类 C01B(7) D01F(6) B32B(4)
B01J(3) B82B(3) H01J(2)
H01L(2)
IPC C01B031/02(7) D01F009/127(6) D01F009/12(5)
B32B001/08(2) B82B001/00(2) B82B003/00(2)
H01J001/304(2)
发明人 YANAGISAWA T(4) ENDO M(3) YANAGISAWA G C C(3)
公开年 2002(4) 2003(3)
申请年 2002(8)
专利权人 GSI CREOS CO.(4) ENDO M(3)